тонкие сегнетоэлектрические пленки, цирконат-титанат свинца, морфотропная фазовая граница, механические напряжения, внутреннее электрическое поле, самополяризация, Physics, QC1-999

Рассмотрено влияние линейных и изгибных напряжений на величину внутреннего поля и самополяризации в тонких пленках цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных методом высокочастотного магнетронного распыления на подложках кремния и ситалла СТ-50. Состав тонких пленок соответствовал области морфотропной фазовой границы. Предположено, что изгибные напряжения в биморфных структурах «тонкая пленка PZT — подложка» приводят к появлению внутреннего электрического поля, вызванного диффузией заряженных кислородных вакансий (эффект Горского в сегнетоэлектриках).