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Academic Journal
基于SOI的光波导和V形槽集成器件
程振杰, 彭治林
Guangtongxin yanjiu, Vol , Pp 55-57 (2003)
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| Title | 基于SOI的光波导和V形槽集成器件 |
|---|---|
| Authors | 程振杰, 彭治林 |
| Publication Year |
2003
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| Source |
Guangtongxin yanjiu, Vol , Pp 55-57 (2003)
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| Description |
文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件。设计了5μm×5μm的单模光波导,并用APSS软件进行了光场模式分析;利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽;最后,利用紫外光敏胶将波导和光纤固定。
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| Document Type |
article
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| Language |
Chinese
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| Publisher Information |
《光通信研究》编辑部, 2003.
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| Subject Terms | |
